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VCSEL 生產測試系統

脈衝 VCSEL 的完整特性測定

系統 / VCSEL 生產測試系統

系統介紹

系統配置

測量應用

系統介紹

系統配置

測量應用

用於 VCSEL 工序間檢驗的堅固的完整系統

在選擇測量系統時，鐳射二極體/VCSEL 的工序間檢驗要求具有較高的精度和穩定性。可靠精確地測量光學特性和時序脈衝性能是在生產過程中，對鐳射二極體實現可再現特性測定和分類的前提條件。

基於 CAS 系列光譜儀的高解析度版本，除 VCSEL 實驗室測量站實驗室測量站之外，Instrument Systems 還提供了多個針對在生產中進行 VCSEL 特性測定而優化調節的完整解決方案，包括 PVT 200，它包含專用於對納秒級脈衝實施時間分辨測量的測量系統。

Instrument Systems 測量解決方案的模組化設置和 CAS-HR 系列（CAS 140CT-HR、CAS 120-HR）的出色光譜解析度支持各種應用。集成可追溯、絕對校準光電二極體後，輻射通量作為直接被測變數輸出，這對確保測量精度至關重要。

此外，還可集成直視快速光電二極體，用於測量單個脈衝或完整脈衝序列的軌跡。這需要額外驅動器和千兆赫運行範圍的讀出電子裝置。

在生產環境中，在短週期時間內保持高吞吐率 (UPH) 至關重要。鐳射二極體通常在很窄的光譜範圍內擁有高功率，可確保在短積分時間內適當調製探測器。因此，要以高輸送量對相關讀數進行週期精准捕獲，需要具有盡可能較短測量時間的測量系統。

需要精密電子設備，尤其是用於測定超短的高頻脈衝特性，因為短脈衝必須在 10 A 及以上的電流下產生，並且測量資料必須以幾千兆赫的取樣速率進行採集。

系統配置

Instrument Systems 用於在生產中快速精確地測量鐳射二極體/VCSEL 的輻射通量的一體化系統通常包含以下部件：

部件	描述
陣列光譜儀	- 具有高達 0.2 nm 光譜解析度的高解析度 CAS 140CT-HR，作為配有帶製冷的 CCD 探測器的高端測量解決方案，可實現較高穩定性，例如在參考系統中。 - 具有高達 0.12 nm 光譜解析度的高解析度 CAS 120B-HR，作為 CAS 140CT-HR 的高性能但經濟高效的替代產品。
積分球	- 具有小內徑的 ISP 75 和 ISP 100。外形小巧，特別適合安裝在處理器和探測器系統中。 - 可選：ISP 100，具有用於連接光譜儀和光電二極體（用於測定鐳射二極體的功率或脈衝波形）的可變埠配置，以及以低至 1 ns 脈衝持續時間檢測較短脈衝的功能（系統 PVT 200）。 - 替代產品：ISP 150L，內徑為 150 mm，直徑為 50 mm 的測量埠可用於測量較大鐳射模組/陣列，帶有借助集成式輔助光源實現的自吸收修正功能。
校準	可追溯至國家標準 PTB 或 NIST 的校準。
電子設備	用於以高電流（高達 15A）生成短脈衝 (≥ 1 ns) 的驅動電子設備。用於快速光電二極體信號檢測的採樣電子設備（或示波器）。
軟體	CAS.dll 和 SDK，用於集成到客戶的生產流程中。
IR 參考 LED （可選）	具有 860 nm 和 950 nm 的參考 LED ACS-570-15、570-17。當與內部 PSU 10 電源結合使用時，可形成一個高度穩定的參考系統。